四川九天中創(chuàng)自動化設備有限公司
高端制造設備高科技企業(yè)
產品描述
本設備采用高精準的平臺移動和定制劈裂系統(tǒng)，對激光劃片后的晶圓施加外力，進行高精度、高效率裂片。
【應用領域】
• 針對硅晶圓、碳化硅晶圓、LED藍寶石晶圓等泛半導體晶圓進行高精度、高效率裂片。
【設備優(yōu)勢】
• 廣角輪廓相機進行輪廓識別，上料無需區(qū)分全、破片、殘片，可擊錘損壞自動檢測，劈刀磨損自動檢測；
【生產效率】
• ≥2400片/月4寸晶圓，兼容2、4、6、8寸晶圓裂片；
切割前后晶圓對比圖
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